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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为8厘米晶圆分娩线一起的超注射用水体系,一天所产生含硅生活污水150吨。生活污自来水中虽无高价属,但硅量高易结渣,且电阻器率需超过18MΩ·cm就能够回收。改变补救新工艺是没办法充分考虑新施行的《智能重工业水污染破坏物尾气的排放规范》(GB39731-2020)很尾气的排放允许值。 化工废水基本成分特质 具体破坏物 :悬浊液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(颗粒直径0.1-1μm) 唯一性标准要求 :TOC<10μg/L,硼的含量<5μg/L 饮用水质属性 :低纯水电导率(<50μS/cm)但硅氧化物形状比较复杂 处里工艺具体流程具体流程 转型升级采取"梯级膜提取+电去亚铁离子"女子组合生产工艺: 微滤预加工处理 :1μm瓷砖膜电话拦截大颗粒物硅,通量提升80LMH 阴阳离子互相交换树酯 :D201大孔不饱和树脂选购性树脂吸附硅酸分子式 二级考试RO系统的 :首要段收回率60%,第二种段运用高脱硼膜元器件 EDI电去正离子 :感应电流高密度2A/m²,持续性祛除残留铝离子 红外光谱臭氧消毒 :254nmUV紫外光线使用量40mJ/cm² 工艺重点 開發专用型阻硅剂(有机的胺类软型物),推迟膜被污染时间3倍 EDI接口转型升级流道设计制作,硅避开率升降至99.8% 一直在线硅概述仪(自动测量条件0.1-500μg/L)保持识贫把控 运转效益 经再者方验测: 总硅从280mg/L降到0.05mg/L 硼含碳量从8μg/L降下来0.3μg/L 系统化的回收利用率从原40%改善至68% 膜更改周期性延伸至5年,年工作代价变低35%

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