该厂为国际上前十强半导体设备封口测式品牌,产量全过程中引发更多含光刻胶、光敏树脂等低原子核生产物的废污水,传统的措施加工处理目的差,现需优化更新改造。
废污水性具体分析
关键环境气体污染源:
打磨抛光废液
:含硅粉、悬屏物(SS>500mg/L)
去胶废气
:含光刻胶稳定度物(COD达8000-12000mg/L)
真空镀膜废水处理工艺
:微量分析金、银等贵材料化合物
清晰生产废水:含氟化物(50-200mg/L)
自主创新除理工学院艺
适用"高阶防氧化+MBR"组合名字技巧:
预解决模快
:
旋流奠定消除大顆粒硅粉
普通机械除氟(添加氯化钙造成氟化钙滤渣)
基本清理摸块
:
Fenton脱色(H2O2/Fe2+)可分解大脂溶性可挥发物(COD清除率60-70%)
UASB好氧菌症状器进每一步光降解(COD出掉率>80%)
MBR膜生物技术生理管式反应器(PVDF双层食物纤维膜,孔直径0.1μm)
使用体系
:
反融于控制系统产水回收利用于生产销售线(回收利用率>65%)
正常运行作用
外理组选水质量比较(对数正态分布):
COD从9500mg/L降落到45mg/L
氟化物从180mg/L高于8mg/L
SS从480mg/L减至5mg/L
软件系统自动化系统化水平高,每吨的水处里投资成本较原加工过程降底22%,获选市级洗涤生产的示范片创业项目。